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ASMC 2013 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2013, p.360-365
2013
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2011-01, Vol.10 (1), p.13013
2011
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2005-10, Vol.4 (4), p.43003
2005
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2001-11, Vol.19 (6), p.2884-2889
2001
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Biochemical engineering journal, 2023-08, Vol.197, p.108993, Article 108993
2023
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International journal of environmental research and public health, 2022-03, Vol.19 (5), p.3094
2022
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Journal of agricultural and food chemistry, 2001-10, Vol.49 (10), p.4845-4851
2001
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