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2007
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Sensors and actuators. A. Physical., 2008-04, Vol.142 (2), p.561-568
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-04, Vol.20 (4), p.045003-045003
2010
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Sensors and actuators. A. Physical., 2006-11, Vol.132 (1), p.283-288
2006
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Sensors and actuators. A. Physical., 2003-12, Vol.109 (1), p.79-87
2003
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ECS transactions, 2010, Vol.33 (4), p.137-144
2010
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Biotechnology journal, 2011-05, Vol.6 (5), p.600-603
2011
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Fatigue & fracture of engineering materials & structures, 2005-08, Vol.28 (8), p.743-749
2005
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Journal of the Electrochemical Society, 1997-09, Vol.144 (9), p.3188-3191
1997
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The Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2003, Vol.2003.2, p.OS06W0405-OS06W0405
2003
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The Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2003, Vol.2003, p.236
2003
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Physica scripta, 2004-01, Vol.2004, p.181-183
2004
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2016, p.525-539
Second Edition, 2016
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2020, p.1-1
3rd Edition, 2020
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Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2007-09, Vol.MA2007-02 (17), p.973-973
2007
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.473-487
2010
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.433-446
2010
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Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2010-07, Vol.MA2010-02 (27), p.1698-1698
2010
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Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators, p.167-178
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2015, p.1-1
2nd Edition, 2015
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-1
2010
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2009 European Microelectronics and Packaging Conference, 2009, p.1-5
2009
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IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2005, 2005, p.169-170
2005
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-1
2010
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MRS proceedings, 1992, Vol.284, Article 511
1992
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