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Production of polycrystalline Bi2Te3 nanostructures and the effect of annealing on their electrical conductivity
Microelectronic engineering, 2019-06, Vol.214, p.44-49
2019
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Fabricating freely suspended structures optimized regarding mechanical and electrochemical stability for sensor applications
Microelectronic engineering, 2016-06, Vol.159, p.202-208
2016
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Design, simulation, fabrication and characterization of nano-scaled acceleration grids
Microelectronic engineering, 2014-06, Vol.121, p.118-121
2014
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Preparation of nanoscale thermal time of flight sensors by e-beam lithography
Microelectronic engineering, 2012-09, Vol.97, p.357-360
2012
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Nano-Fin Based Mercury-Sensor for Environmental Surveillance
Journal of nanoscience and nanotechnology, 2010-09, Vol.10 (9), p.5921-5925
2010
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Wafer Extension for Cost-Effective Front to Back Side Alignment
Journal of nano research, 2014-03, Vol.27, p.1-4
2014
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Backside Illumination of an Electronic Photo Ionization Detector Realized by UV Transparent Thin Films
Journal of nano research, 2013-10, Vol.25, p.55-60
2013
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Lithography independent high accuracy fabrication and characterization of next generation Nano-MOS-transistors with L=25nm and W=75nm
Microelectronic engineering, 2007-05, Vol.84 (5-8), p.1484-1487
2007
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Lithography independent high accuracy fabrication and characterization of next generation Nano-MOS-transistors with L = 25 nm and W = 75 nm
Microelectronic engineering, 2007-05, Vol.84 (5), p.1484-1487
2007
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Open Access
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CMOS Compatible Fabrication Technique for Nano-Transistors by Conventional Optical Lithography
Journal of semiconductor technology and science, 2004, Vol.4 (1), p.41-44
2004
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Manufacturing considerations of lithography independent nano-MOS-transisters in the sub-25 nm-region
2006 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology Proceedings, 2006, p.55-57
2006
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Towards Nano-Fin based Mercury-Sensors
2009 Spanish Conference on Electron Devices, 2009, p.342-344
2009
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Cost-effective MOSFET-transistors on bulk silicon in the deep sub-50 nm-region
2009 6th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices, 2009, p.1-6
2009
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