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2016
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Clinical microbiology and infection, 2016-01, Vol.22 (1), p.65.e1-65.e3
2016
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2009 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2009, p.169-173
2009
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3091-3097
1999
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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.517-524
2001
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Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1), p.473-476
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3356-3361
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.3095-3098
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-11, Vol.18 (6), p.3207-3209
2000
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3127-3131
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3098-3106
1999
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