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Journal of microelectromechanical systems, 2009-08, Vol.18 (4), p.845-851
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-11, Vol.27 (6), p.2472-2479
2009
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IEEE transactions on electron devices, 2001-05, Vol.48 (5), p.880-886
2001
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