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Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, 2024, Vol.18(2), pp.JAMDSM0018-JAMDSM0018
2024
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Nature communications, 2015-12, Vol.6 (1), p.10078-10078, Article 10078
2015
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2024-05
2024
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About stress in filled DRIE-trenches
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-08, Vol.25 (8), p.85003-7
2015
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