Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...




Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-07, Vol.34 (4)
2016
Volltextzugriff (PDF)




Semiconductor science and technology, 2012-02, Vol.27 (2), p.024017
2012
Volltextzugriff (PDF)



Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen