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A Fast Actuation Mechanism and Energy-Effective Driving Method for Pulse-Closers
IEEE transactions on industrial electronics (1982), 2023-02, Vol.70 (2), p.1331-1341
2023
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A high-speed, short-stroke xy-stage with counterbalance mechanisms for highly focused laser machining
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2022-10, Vol.28 (10), p.2361-2368
2022
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Mask-substrate gap control system for exposure equipment
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2021-06, Vol.27 (6), p.2395-2406
2021
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