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Microelectronic engineering, 2002-07, Vol.61, p.323-329
2002
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2005-02, Vol.18 (1), p.37-41
2005
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Microelectronic engineering, 2002-07, Vol.61, p.1089-1092
2002
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ESSDERC '91: 21st European Solid State Device Research Conference, 1991, Vol.15 (1), p.551-554
1991
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ESSDERC '87: 17th European Solid State Device Research Conference, 1987, p.87-90
1987
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2003-01, Vol.2 (1), p.61
2003
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ESSDERC '88: 18th European Solid State Device Research Conference, 1988-09, Vol.49 (C4), p.c4-33-c4-36
1988
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Microelectronic engineering, 1996, Vol.30 (1-4), p.141-144
1996
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Critical care (London, England), 2014-02, Vol.18 (1), p.R30-R30, Article R30
2014
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Journal of applied crystallography, 1982-02, Vol.15 (1), p.114-116
1982
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