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2020
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2019
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2018
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IEEE/ASME transactions on mechatronics, 2024, p.1-11
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2017 22nd IEEE International Conference on Emerging Technologies and Factory Automation (ETFA), 2017, p.1-5
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-07, Vol.26 (4), p.1363-1367
2008
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