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Design of silicon membranes for ultrasonic transducers and its fabrication by anisotropic wet etching
Journal of physics. Conference series, 2020-12, Vol.1697 (1), p.12100
2020
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Multi-electrode silicon microprobes fabrication process for brain-computer interface
Journal of physics. Conference series, 2020-12, Vol.1695 (1), p.12056
2020
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Effect of substrate temperature on the properties of plasma deposited silicon oxide thin films
Journal of physics. Conference series, 2018-12, Vol.1124 (2), p.22034
2018
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Nanocomposite of polycrystalline silicon and carbon nanotubes for micro- and nanomechanical systems
Journal of physics. Conference series, 2018-12, Vol.1135 (1), p.12032
2018
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The formation of multi-axis micromechanical gyroscopes and accelerometers using surface micromachining
Journal of physics. Conference series, 2017-11, Vol.929 (1), p.12055
2017
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Grain size and doping effect on structure and electromechanical properties of polycrystalline silicon for MEMS applications
Journal of physics. Conference series, 2016-08, Vol.741 (1), p.12001
2016
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Development of New Metamaterials for Advanced Element Base of Micro- and Nanoelectronics, and Microsystem Devices
Advanced Materials, p.563-580
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