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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021, p.63-66
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2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020, p.331-333
2020
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2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, p.1553-1555
2019
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