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Sensors and actuators. A. Physical., 2014-08, Vol.215, p.176-183
2014
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Journal of micromechanics and microengineering, 2013-07, Vol.23 (7), p.75009-9
2013
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-01, Vol.22 (1), p.015013-9
2012
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-04, Vol.22 (4), p.45005-11
2012
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Journal of physics. Conference series, 2014-01, Vol.557 (1), p.12022-4
2014
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2012 IEEE Sensors, 2012, p.1-4
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2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018, p.1064-1067
2018
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2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2017, p.1171-1174
2017
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