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Journal of microelectromechanical systems, 2006-08, Vol.15 (4), p.896-903
2006
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Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.1982-1985
2011
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Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2281-2285
2011
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Micromachines (Basel), 2019-12, Vol.11 (1), p.40
2019
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Journal of micromechanics and microengineering, 2008-08, Vol.18 (8), p.085017-085017 (7)
2008
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Sensors and actuators. A. Physical., 2005-09, Vol.123, p.453-458
2005
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Japanese Journal of Applied Physics, 2011-06, Vol.50 (6), p.06GL04-06GL04-4
2011
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Sensors and actuators. A. Physical., 2008-05, Vol.143 (1), p.97-105
2008
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Toxicology and environmental health sciences, 2019-03, Vol.11 (1), p.73-78
2019
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Japanese Journal of Applied Physics, 2013-06, Vol.52 (6), p.06GK11-06GK11-5
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2010
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2012
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