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Sensors and actuators. A. Physical., 2014-04, Vol.210, p.1-9
2014
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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-05, Vol.20 (5), p.055008-055008
2010
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Journal of physics. Conference series, 2013-01, Vol.476 (1), p.12137-5
2013
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Journal of physics. Conference series, 2013-01, Vol.476 (1), p.12113-5
2013
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Procedia engineering, 2012, Vol.47, p.1041-1044
2012
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2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011, p.735-738
2011
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2012 IEEE International Conference on Wireless Information Technology and Systems (ICWITS), 2012, p.1-4
2012
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2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012, p.1289-1292
2012
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