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Electron spin resonance study of the effect of applied stress during thermal oxidation of (1 1 1)Si on inherent Pb interface defects
Microelectronic engineering, 2004-04, Vol.72 (1), p.76-80
2004
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An analytical model of diffusion current in intrinsically gettered structures based on intentional contamination experiments
IEEE transactions on electron devices, 1991-09, Vol.38 (9), p.2155-2160
1991
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Reverse annealing and low-temperature diffusion of boron in boron-implanted silicon
Journal of applied physics, 1988-06, Vol.63 (11), p.5521-5525
1988
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Chemically enhanced thermal oxidation of silicon
Materials letters, 1985-01, Vol.3 (5), p.235-238
1985
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Ion beam characterization of the ion implanted arsenic tail in silicon
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1990-03, Vol.47 (1), p.29-32
1990
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Time lag and permeation in multilayer polymer coatings
IEEE transactions on components, hybrids, and manufacturing technology, 1993-08, Vol.16 (5), p.517-522
1993
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