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Engineering proceedings, 2023-06, Vol.36 (1), p.8
2023
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2015-03, Vol.15 (3), p.2400-2403
2015
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Materials science in semiconductor processing, 2022-09, Vol.148, p.106833, Article 106833
2022
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Japanese Journal of Applied Physics, 2012-09, Vol.51 (9), p.09MA03-09MA03-4
2012
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