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Applied physics letters, 2016-02, Vol.108 (7)
2016
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Journal of micromechanics and microengineering, 2022-05, Vol.32 (5), p.54001
2022
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2007
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Nature communications, 2021-06, Vol.12 (1), p.3925-3925, Article 3925
2021
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Journal of micromechanics and microengineering, 2016-11, Vol.26 (11), p.115006
2016
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2004
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Journal of microelectromechanical systems, 2018-12, Vol.27 (6), p.945-947
2018
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IEEE sensors journal, 2021-10, Vol.21 (19), p.21349-21358
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Journal of applied physics, 2004-04, Vol.95 (7), p.3694-3703
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Journal of mechanical design (1990), 2019-09, Vol.141 (9)
2019
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Journal of research of the National Institute of Standards and Technology, 2020, Vol.125, p.125009-125009, Article 125009
2020
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