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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.345-348
2006
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2007 IEEE 20th International Vacuum Nanoelectronics Conference, 2007, p.78-79
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.345-348
2006
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