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Japanese Journal of Applied Physics, 1992-04, Vol.31 (4), p.984-988
1992
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Japanese Journal of Applied Physics, 1990-10, Vol.29 (10), p.L1741-L1743
1990
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Japanese Journal of Applied Physics, 1992-12, Vol.31 (12B), p.4403-4406
1992
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Open Access
Through Electrode in Si Wafer
Journal of The Surface Finishing Society of Japan, 2001/07/01, Vol.52(7), pp.479-483
2001
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Japanese Journal of Applied Physics, 1993-03, Vol.32 (3B), p.L392-L394
1993
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Japanese journal of applied physics, 1988, Vol.27 (1), p.L110-L112
1988
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Journal of crystal growth, 1991-04, Vol.110 (4), p.704-712
1991
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Applied physics letters, 1986-03, Vol.48 (12), p.770-772
1986
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Japanese Journal of Applied Physics, 1984-01, Vol.23 (12), p.928-930
1984
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Journal of applied physics, 1990-09, Vol.68 (5), p.2538-2540
1990
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