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SID International Symposium Digest of technical papers, 2017-05, Vol.48 (1), p.1469-1471
2017
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SID International Symposium Digest of technical papers, 2018-05, Vol.49 (1), p.1443-1445
2018
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2022-08, Vol.35 (3), p.385-396
2022

2020 31st Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2020, p.1-6
2020

2020 Winter Simulation Conference (WSC), 2020, p.2649-2658
2020

Proceedings of the Winter Simulation Conference, 2020, p.2649-2658
2020
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