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Japanese Journal of Applied Physics, 2014-06, Vol.53 (6S), p.6-1-06JM09-4
2014
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Japanese Journal of Applied Physics, 2014-03, Vol.53 (3), p.36703-1-036703-5
2014
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-03, Vol.27 (2), p.749-752
2009
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