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Journal of manufacturing science and engineering, 2011-06, Vol.133 (3)
2011
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Microsystem technologies, 2014-10, Vol.20 (10-11), p.1833-1837
2014
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.544-547
2009
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Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part B, Journal of engineering manufacture, 2011-12, Vol.225 (12), p.2189-2205
2011
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2006-01, Vol.203 (1), p.66-74
2006
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CIRP journal of manufacturing science and technology, 2011, Vol.4 (4), p.340-346
2011
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Microelectronic engineering, 2009, Vol.86 (4-6), p.544-547
2009
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