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IEEE transactions on electron devices, 1996-04, Vol.43 (4), p.636-646
1996
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Solid-state electronics, 1995, Vol.38 (6), p.1161-1164
1995
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-01, Vol.11 (1), p.86-91
1993
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Proceedings of 1994 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (ASMC), 1994, p.100-106
1994
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