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Open Access
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Development of ultra-high-current implanter for material modification process in next era devices
MRS advances, 2022-12, Vol.7 (36), p.1248-1252
2022
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Novel Ion Source for the Production of Extended Sheet Beams
2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT), 2016, p.1-4
2016
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High Current Ion Implanter "LUXiON"
2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT), 2016, p.1-4
2016
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Improvement of productivity by cluster ion implanter: CLARIS
2010 International Workshop on Junction Technology Extended Abstracts, 2010, p.1-4
2010
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