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Shallow Junction Ion Implantation in Ge and Associated Defect Control

Journal of the Electrochemical Society, 2006, Vol.153 (3), p.G229

2006

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Ion-implantation issues in the formation of shallow junctions in germanium

Materials science in semiconductor processing, 2006-08, Vol.9 (4), p.634-639

2006

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Characterization of electrically active dopant profiles with the spreading resistance probe

Materials science & engineering. R, Reports : a review journal, 2004-12, Vol.47 (5), p.123-206

2004

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Effect of hafnium germanate formation on the interface of HfO2/germanium metal oxide semiconductor devices

Applied physics letters, 2006-04, Vol.88 (14)

2006

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Characterization of Etch Residues Generated on Damascene Structures

Solid state phenomena, 2016-09, Vol.255, p.227-231

2016

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Reference survey spectra of elemental solid measured with Cr Kα photons as a tool for Quases analysis (4): Group III and IV elements (B, Al, In, C, Si, Ge, Sn, Pb)

Surface science spectra, 2022-12, Vol.29 (2)

2022

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Active dopant characterization methodology for germanium

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.381-389

2006

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Study of CVD high- k gate oxides on high-mobility Ge and Ge/Si substrates

Thin solid films, 2006-06, Vol.508 (1), p.1-5

2006

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Reference survey spectra of elemental solid measured with Cr Kα photons as a tool for Quases analysis (5): Various elements (Mg, Sb, Bi, Se, Gd, Dy, Yb)

Surface science spectra, 2022-12, Vol.29 (2)

2022

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Reference survey spectra of elemental solid measured with Cr Kα photons as a tool for Quases analysis (2): Transition metals period 5 elements (Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, and Ag)

Surface science spectra, 2022-12, Vol.29 (2)

2022

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Reference survey spectra of elemental solid measured with Cr Kα photons as a tool for Quases analysis (3): Transition metals period 6 elements (Hf, Ta, W, Re, Ir, Pt, Au)

Surface science spectra, 2022-12, Vol.29 (2)

2022

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Reference survey spectra of elemental solid measured with Cr Kα photons as a tool for Quases analysis (1): Transition metals period 4 elements (Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)

Surface science spectra, 2022-12, Vol.29 (2)

2022

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A Study of the Influence of Typical Wet Chemical Treatments on the Germanium Wafer Surface

Solid state phenomena, 2005-04, Vol.103-104, p.27-30

2005

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High-energy x-ray photoelectron spectroscopy spectra of InP measured by Cr Kα

Surface science spectra, 2022-06, Vol.29 (1)

2022

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Properties of Ultrathin High Permittivity (Nb[sub 1−x]Ta[sub x])[sub 2]O[sub 5] Films Prepared by Aqueous Chemical Solution Deposition

Journal of the Electrochemical Society, 2010, Vol.157 (1), p.G13

2010

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HAXPES Cr Kα measurement of bulk indium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES) Cr Kα measurement of bulk copper

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES) Cr Kα measurement of bulk gold

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High-energy x-ray photoelectron spectroscopy Cr Kα measurement of bulk dysprosium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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HAXPES Cr Kα measurement of bulk hafnium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES) Cr Kα measurement of bulk chromium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy Cr Kα measurement of bulk gadolinium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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HAXPES Cr Kα measurement of bulk germanium

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES) Cr Kα measurement of bulk Ag

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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High energy x-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES) Cr Kα measurement of bulk bismuth

Surface science spectra, 2023-12, Vol.30 (2)

2023

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