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精密工学会誌, 2023/09/05, Vol.89(9), pp.690-694
2023
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Japanese Journal of Applied Physics, 2017-06, Vol.56 (6S1), p.6
2017
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Electrical engineering in Japan, 2018-07, Vol.204 (2), p.50-60
2018
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International journal of automation technology, 2018-01, Vol.12 (1), p.29-36
2018
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Journal of microelectromechanical systems, 2010-10, Vol.19 (5), p.1058-1069
2010
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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-06, Vol.20 (6), p.065005-065005
2010
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