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Applied physics. A, Materials science & processing, 2018-01, Vol.124 (1), p.1-7, Article 64
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Microelectronic engineering, 2023-07, Vol.279, p.112057, Article 112057
2023
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Alexandria engineering journal, 2024-06, Vol.96, p.72-81
2024
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International journal of automation technology, 2024-07, Vol.18 (4), p.528-536
2024
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International journal of automation technology, 2024-07, Vol.18 (4), p.513-520
2024
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Japanese Journal of Applied Physics, 2022-06, Vol.61 (6), p.65507
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Micromachines (Basel), 2018-05, Vol.9 (6), p.264
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Materials science & engineering. A, Structural materials : properties, microstructure and processing, 2012-04, Vol.541, p.8-13
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Mechanical Engineering Journal, 2023, Vol.10(4), pp.23-00074-23-00074
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IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2019-06, Vol.139 (6), p.132-136
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Japanese Journal of Applied Physics, 2015-06, Vol.54 (6S1), p.6
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Microelectronic engineering, 2015-03, Vol.135, p.45-51
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Preface
Mechanical engineering journal, 2023, Vol.10 (4), p.23-23preface2, Article 23preface02
2023
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Open Access
Preface
Mechanical Engineering Journal, 2023, Vol.10(4), pp.23preface2-23preface2
2023
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