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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2022-06, Vol.28 (6), p.1293-1300
2022
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Littérature (Paris. 1971), 2000 (118), p.59-70
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2017 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 2017, p.1-6
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Scientific reports, 2021-12, Vol.11 (1), p.23858-23858, Article 23858
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2018
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