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Journal of microelectromechanical systems, 2011-08, Vol.20 (4), p.811-818
2011
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Sensors and actuators. B, Chemical, 2011-05, Vol.154 (1), p.67-72
2011
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International journal of precision engineering and manufacturing, 2015-06, Vol.16 (7), p.1631-1637
2015
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Sensors and actuators. A. Physical., 2003-10, Vol.107 (2), p.132-136
2003
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SEISAN KENKYU, 2002, Vol.54(2), pp.125-128
2002
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2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010, p.1075-1078
2010
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TRANSDUCERS 2009 - 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2009, p.1566-1569
2009
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Open Access
MEMS to SAMs and SAMs for MAMS
SEISAN KENKYU, 2002, Vol.54(3), pp.198-203
2002
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The Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2003, Vol.2003.2, p.OS06W0411-OS06W0411
2003
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The Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2003, Vol.2003, p.109
2003
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生産研究, 2002, Vol.54(3), pp.198-203
2002
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International journal of molecular sciences, 2021-12, Vol.22 (24), p.13449
2021
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