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Advanced materials (Weinheim), 2002-09, Vol.14 (18), p.1290-1294
2002
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Journal of microelectromechanical systems, 2001-09, Vol.10 (3), p.450-459
2001
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Digest of Technical Papers. 2005 Symposium on VLSI Technology, 2005, 2005, p.128-129
2005
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Device Research Conference. Conference Digest (Cat. No.01TH8561), 2001, p.73
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Proceedings of the IEEE 2003 Custom Integrated Circuits Conference, 2003, 2003, p.207-213
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Proceedings. 7th International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology, 2004, 2004, Vol.1, p.306-309 vol.1
2004
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