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Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2174-2179
2011
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Journal of micromechanics and microengineering, 2011-01, Vol.21 (1), p.017003
2011
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.1226-1229
2009
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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.381-387
2001
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Microelectronic engineering, 2007-05, Vol.84 (5), p.1096-1099
2007
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-11, Vol.23 (6), p.2954-2957
2005
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Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.495-501
2003
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