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Microelectronic engineering, 2002-07, Vol.61, p.285-293
2002
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-11, Vol.11 (6), p.2746-2753
1993
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-11, Vol.11 (6), p.2332-2341
1993
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1995-11, Vol.13 (6), p.2478-2482
1995
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.3839-3844
1996
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3168-3173
1998
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2001-11, Vol.19 (6), p.2607-2611
2001
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IBM journal of research and development, 1988-07, Vol.32 (4), p.494-501
1988
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.2834-2838
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2662-2665
2002
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Journal of the Electrochemical Society, 1984-04, Vol.131 (4), p.894-896
1984
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1990-11, Vol.8 (6), p.1898-1902
1990
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1988-11, Vol.6 (6), p.2028-2032
1988
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.2808-2813
1999
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Electron beam lithography
Nanolithography, 2013
2013
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Microelectronic engineering, 1992-03, Vol.17 (1), p.7-10
1992
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IBM journal of research and development, 1993-05, Vol.37 (3), p.411-420
1993
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3483-3488
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-11, Vol.9 (6), p.3555-3561
1991
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.2932-2935
1999
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Administration & society, 1974-11, Vol.6 (3), p.316-336
1974
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1983-10, Vol.1 (4), p.1316-1321
1983
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