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Microelectronic engineering, 2006-04, Vol.83 (4), p.1124-1127
2006
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Vacuum, 2005-01, Vol.77 (2), p.117-123
2005
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-09, Vol.21 (5), p.2018-2025
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.2975-2979
2003
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.570
2006
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