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Dopant diffusion in tungsten silicide
Journal of applied physics, 1982-04, Vol.53 (4), p.3059-3062
1982
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IEEE transactions on electron devices, 1980-08, Vol.27 (8), p.1417-1424
1980
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IBM journal of research and development, 1980-05, Vol.24 (3), p.310-317
1980
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IBM journal of research and development, 1980-05, Vol.24 (3), p.362-369
1980
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IEEE journal of solid-state circuits, 1979-04, Vol.14 (2), p.430-435
1979
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IEEE transactions on electron devices, 1979-04, Vol.26 (4), p.508-513
1979
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