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2002
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Microelectronic engineering, 2006-04, Vol.83 (4), p.929-932
2006
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3306-3311
2004
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Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.221-228
2003
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2004, Vol.17(3), pp.417-419
2004
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-03, Vol.22 (2), p.695-701
2004
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Microelectronic engineering, 2005-03, Vol.78, p.633-640
2005
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-11, Vol.23 (6), p.2553-2556
2005
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2002-10, Vol.1 (3), p.284
2002
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Microelectronic engineering, 2005-03, Vol.78, p.464-473
2005
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3265-3270
2004
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2896-2901
2002
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Journal of electronic materials, 2000-03, Vol.29 (3), p.376-383
2000
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Materials science forum, 2002-04, Vol.389-393, p.455-458
2002
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Materials science forum, 2000-05, Vol.338-342, p.1029-1032
2000
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Materials science forum, 1998-01, Vol.264-268, p.957-960
1998
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Materials science forum, 2001-10, Vol.389-393 (1), p.455-458
2001
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MRS proceedings, 2002, Vol.742, Article K3.4
2002
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