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Plasma thinning of silicon-on-insulator bonded wafers
Microelectronic engineering, 1993-08, Vol.22 (1), p.347-350
1993
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Plasma thinned SOI bonded wafers
1992 IEEE International SOI Conference, 1992, p.152-153
1992
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Surface quality of plasma-thinned bonded SOI wafers
Proceedings. IEEE International SOI Conference, 1994, p.77-78
1994
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Plasma process integration for larger wafer manufacturing
Proceedings of 1994 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (ASMC), 1994, p.27
1994
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Material properties of plasma-thinned bonded SOI wafers
Proceedings of 1993 IEEE International SOI Conference, 1993, p.62-63
1993
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