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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2006-07, Vol.24 (4), p.1540-1545
2006
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2006-07, Vol.24 (4), p.1540-1545
2006
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Thin film temperature heat fluxmeters
Thin solid films, 1990-12, Vol.193 (1-2), p.924-934
1990
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1987-09, Vol.5 (5), p.2917-2923
1987
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2017 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 2017, p.1-6
2017
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Surface & coatings technology, 1992, Vol.54, p.308-314
1992
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Surface & coatings technology, 1992-11, Vol.54-55 (1-3), p.308-314
1992
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Metallurgical Coatings and Thin Films 1992, 1992, p.308-314
1992
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