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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.3821-3824
1996
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Microelectronic engineering, 1995-02, Vol.27 (1), p.159-162
1995
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Superlattices and microstructures, 1999-01, Vol.25 (1-2), p.175-180
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1995-11, Vol.13 (6), p.2553-2555
1995
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