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In-situ steam generation for shallow trench isolation in sub-100 nm devices
11th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors. RTP 2003, 2003, p.163-166
2003
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Secondary Organic Aerosol from the Photooxidation of Aromatic Hydrocarbons:  Molecular Composition
Environmental science & technology, 1997-05, Vol.31 (5), p.1345-1358
1997
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Steam oxidation in Applied Materials' RTP systems
9th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors, RTP 2001, 2001, p.115-119
2001
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