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Journal of microelectromechanical systems, 2004-06, Vol.13 (3), p.514-525
2004
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Chemical reviews, 2000-07, Vol.100 (7), p.2679-2692
2000
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Surface & coatings technology, 1995-12, Vol.76-77, p.400-406
1995
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Proceedings of the IEEE 2003 Custom Integrated Circuits Conference, 2003, 2003, p.95-98
2003
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2003 IEEE International Solid-State Circuits Conference, 2003. Digest of Technical Papers. ISSCC, 2003, p.396-501 vol.1
2003
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Surface & coatings technology, 1995-12, Vol.77 (1-3), p.400-406
1995
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Surface & coatings technology, 1995, Vol.76-77 (1-3), p.400-406
1995
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Proceedings of the IEEE 2004 Custom Integrated Circuits Conference (IEEE Cat. No.04CH37571), 2004, p.217-224
2004
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