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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1998-05, Vol.16 (3), p.1604-1608
1998
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Proceedings of the IEEE 2003 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.03TH8695), 2003, p.245-247
2003
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Proceedings of the IEEE 2004 International Interconnect Technology Conference (IEEE Cat. No.04TH8729), 2004, p.208-210
2004
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2010 IEEE International 3D Systems Integration Conference (3DIC), 2010, p.1-4
2010
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