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Development of an industrial tool to make passivation layers for UV sensors improvement
Applied surface science, 2012-09, Vol.258 (23), p.9270-9273
2012
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LBIC measurement optimization to detect laser annealing induced defects in Si
Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology, 2012-11, Vol.177 (18), p.1628-1632
2012
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Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)
Applied surface science, 2009-03, Vol.255 (10), p.5647-5650
2009
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Effective Modulation of Ni Silicide Schottky Barrier Height Using Chlorine Ion Implantation and Segregation
IEEE electron device letters, 2009-11, Vol.30 (11), p.1140-1142
2009
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Down to 2 nm Ultra Shallow Junctions : Fabrication by IBS Plasma Immersion Ion Implantation Prototype PULSION(R)
Ion Implantation Technology, 2006, Vol.866, p.609-613
2006
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Fabrication of Ultra-Shallow Junctions on 300 mm Wafers Using the Plasma Immersion Implanter PULSION registered Followed by Spike Annealing Using LEVITOR Furnace
AIP conference proceedings, 2008-11, Vol.1066 (1)
2008
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PULSION registered: A Versatile 200 to 300 mm Bridge Tool Plasma Immersion Ion Implanter for Ultra-Shallow Doping and Nanotechology Applications
AIP conference proceedings, 2008-11, Vol.1066 (1)
2008
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Down to 2 nm Ultra Shallow Junctions : Fabrication by IBS Plasma Immersion Ion Implantation Prototype PULSION registered
AIP conference proceedings, 2006-11, Vol.866 (1)
2006
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Fabrication of Ultra-Shallow Junctions on 300 mm Wafers Using the Plasma Immersion Implanter PULSION(R) Followed by Spike Annealing Using LEVITOR Furnace
Ion Implantation Technology 2008, 2008, Vol.1066, p.477-480
2008
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PULSION(R): A Versatile 200 to 300 mm Bridge Tool Plasma Immersion Ion Implanter for Ultra-Shallow Doping and Nanotechology Applications
Ion Implantation Technology 2008, 2008, Vol.1066, p.484-487
2008
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Ultra-Shallow Junctions Fabrication by Plasma Immersion Implantation on PULSION registered Followed by Laser Thermal Processing
AIP conference proceedings, 2008-11, Vol.1066 (1)
2008
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Ultra-Shallow Junctions Fabrication by Plasma Immersion Implantation on PULSION(R) Followed by Laser Thermal Processing
Ion Implantation Technology 2008, 2008, Vol.1066, p.473-476
2008
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Integration of a plasma doping PULSION® process into a fully depleted SOI transistor flow chart
11th International Workshop on Junction Technology (IWJT), 2011, p.67-70
2011
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Open Access
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Proposal of a Methodology to Improve the Level of Automation of an Assembly Line
Advances in Production Management Systems. Artificial Intelligence for Sustainable and Resilient Production Systems, 2021, Vol.631 (2), p.433-441
2021
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Open Access
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A Literature Review on the Level of Automation and New Approach Proposal
Advances in Production Management Systems. The Path to Digital Transformation and Innovation of Production Management Systems, p.408-417
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Meteorites of Morocco: A Model of Science Development in the Arab Countries
Recent Research on Geomorphology, Sedimentology, Marine Geosciences and Geochemistry, p.345-348
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