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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-11, Vol.11 (6), p.2332-2341
1993
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1995-11, Vol.13 (6), p.2478-2482
1995
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-11, Vol.18 (6), p.3079-3083
2000
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