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2010
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2009-10, Vol.8 (4), p.41506
2009
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Japanese Journal of Applied Physics, 1993-12, Vol.32 (12B), p.5928-5932
1993
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Japanese Journal of Applied Physics, 1997-12, Vol.36 (12B), p.7564-7569
1997
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-01, Vol.3 (1), p.28
2004
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-01, Vol.3 (1), p.122
2004
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2005-01, Vol.4 (1), p.13002
2005
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-04, Vol.3 (2), p.232
2004
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MRS proceedings, 2003, Vol.795, Article U11.34
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.3027-3031
2003
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2003-04, Vol.2 (2), p.148
2003
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MRS proceedings, 2001, Vol.695, Article L3.27.1
2001
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MRS proceedings, 2002, Vol.750, Article Y3.4
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.2883-2887
1999
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MRS proceedings, 2001, Vol.695, Article L2.10.1
2001
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MRS proceedings, 2001, Vol.696, Article N3.19
2001
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MRS proceedings, 2000, Vol.639, Article G3.15
2000
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2995-2999
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2001-11, Vol.19 (6), p.2671-2677
2001
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