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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.145-153
2001
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2003-01, Vol.2 (1), p.34
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.3095-3098
2002
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2008 58th Electronic Components and Technology Conference, 2008, p.563-570
2008
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