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Journal of applied physics, 2022-11, Vol.132 (20)
2022
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Journal of micromechanics and microengineering, 2017-01, Vol.27 (1), p.15020
2017
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2020-05, Vol.33 (2), p.224-231
2020
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Microelectronic engineering, 2008-05, Vol.85 (5-6), p.1059-1061
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2007-07, Vol.17 (7), p.1334-1342
2007
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2008-05, Vol.21 (2), p.140-147
2008
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Micromachining optical arrays
CAS 2010 Proceedings (International Semiconductor Conference), 2010, Vol.1, p.155-158
2010
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2019 IEEE 32nd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2019, p.58-63
2019
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2017 International Conference of Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2017, p.1-6
2017
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2008 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, 2008, p.123-127
2008
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment, 2004-03, Vol.520 (1-3), p.483-486
2004
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2004 International Semiconductor Conference. CAS 2004 Proceedings (IEEE Cat. No.04TH8748), 2004, Vol.2, p.307-310 vol.2
2004
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1998 International Semiconductor Conference. CAS'98 Proceedings (Cat. No.98TH8351), 1998, Vol.2, p.337-340 vol.2
1998
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