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2012
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1994
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Procedia engineering, 2012, Vol.47, p.1053-1056
2012
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1998
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Surface & coatings technology, 1997-12, Vol.97 (1), p.475-480
1997
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Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1), p.405-408
1999
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International journal of electronics, 1996-11, Vol.81 (4), p.473-483
1996
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Microelectronic engineering, 1997-02, Vol.35 (1-4), p.329-332
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Microelectronic engineering, 2000, Vol.50 (1), p.301-309
2000
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Microelectronic engineering, 1999-03, Vol.50 (1-4), p.301-309
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-03, Vol.14 (2), p.856-860
1996
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3948-3953
1998
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