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Applied physics letters, 2007-12, Vol.91 (25), p.252109-252109-3
2007
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Japanese Journal of Applied Physics, 2009-03, Vol.48 (3S2), p.3
2009
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-03, Vol.31 (2)
2013
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Semiconductor science and technology, 2015-06, Vol.30 (6), p.64001
2015
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