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Field-Configurable Test Structure Array (FC-TSA): Enabling Design for Monitor, Model, and Manufacturability
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2008-05, Vol.21 (2), p.169-179
2008
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Infrastructure development and integration of electrical-based dimensional process window checking
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2004-05, Vol.17 (2), p.123-141
2004
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Addressable failure site test structures (AFS-TS) for CMOS processes: Design guidelines, fault simulation, and implementation
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2001-11, Vol.14 (4), p.338-355
2001
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Addressable failure site test structures (AFS-TS) for CMOS processes: Design guidelines, fault simulation, and implementation
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2001-11, Vol.14 (4), p.338-355
2001
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Novel assessment of process control monitor in advanced semiconductor manufacturing: a complete set of addressable failure site test structures (AFS-TS)
1999 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings (Cat No.99CH36314), 1999, p.241-244
1999
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Design and simulation of addressable failure site test structure for IC process control monitor
1999 International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications. Proceedings of Technical Papers. (Cat. No.99TH8453), 1999, p.219-222
1999
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Scaling variance, invariance and prediction of design rule: from 0.25-/spl mu/m to 0.10-/spl mu/m nodes in the era of foundry manufacturing
2001 6th International Workshop on Statistical Methodology (Cat. No.01TH8550), 2001, p.38-42
2001
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Addressable failure site test structures (AFS-TS) for process development and optimization
ICMTS 2000. Proceedings of the 2000 International Conference on Microelectronic Test Structures (Cat. No.00CH37095), 2000, p.51-56
2000
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Optimization of low-k dielectric (fluorinated SiO/sub 2/) process and evaluation of yield impact by using BEOL test structures
ICMTS 2000. Proceedings of the 2000 International Conference on Microelectronic Test Structures (Cat. No.00CH37095), 2000, p.205-209
2000
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An assessment of physical and electrical design rule based statistical process monitoring and modeling (PEDR-SPMM): for foundry manufacturing line of multiple-product mixed-run
Proceedings of the 2002 International Conference on Microelectronic Test Structures, 2002. ICMTS 2002, 2002, p.55-59
2002
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